Właściwości elektryczne i optyczne cienkich warstw WOx wytwarzanych metodą rozpylania magnetronowego i analiza ich współczynnika doskonałości

Simple item record

Full item record

dc.contributor.authorMazur, Michał
dc.contributor.organizationPolitechnika Wrocławska
dc.date.accessioned2024-09-05T12:31:09Z
dc.date.available2024-09-05T12:31:09Z
dc.date.issued2022-08-22
dc.description.abstractW artykule przeanalizowano właściwości optyczne i elektryczne cienkich warstw tlenku wolframu. Jest to materiał często stosowany między innymi w inteligentnych oknach, lustrach antyparowych i czujnikach gazów. Zbadano pięć serii cienkich warstw tlenku wolframu, które zostały wytworzone w procesach rozpylania magnetronowego w atmosferze mieszaniny gazu roboczego (Ar) oraz reaktywnego (O2) o różnej zawartości tlenu, tj. od 5% do 15%. Każdy z procesów przeprowadzany był przy tej samej wartości ciśnienia, odległości target – podłoże oraz w tym samym czasie. Grubość cienkich warstw zmierzona za pomocą profilometru optycznego wynosiła około 160 nm. Zauważono, że wraz ze zwiększaniem się udziału gazu reaktywnego w procesie próbki zmieniały barwę od metalicznej, przez ciemnogranatową, po błękitną, jednocześnie stając się coraz bardziej przezroczyste. Pomiary właściwości elektrycznych wykonane za pomocą sondy czteroostrzowej, a także właściwości optycznych przeprowadzone z użyciem spektrofotometru wykazały, że zwiększanie udziału tlenu w procesie powodowało wzrost średniej transmisji światła w zakresie widzialnych długości fal oraz rezystywności cienkich warstw. W artykule przeanalizowano również współczynniki Figure of Merit określające jakość badanej próbki. Największą wartość współczynnika doskonałości otrzymano dla cienkiej warstwy tlenku wolframu, odznaczającej się stosunkowo dużą średnią transmisją światła w zakresie widzialnym przy niskiej wartości rezystywności. Przeprowadzone badania wykazały, że atmosfera gazowa podczas procesu rozpylania magnetronowego istotnie wpływa na właściwości optyczne i elektryczne cienkich warstw tlenku wolframu, co stwarza możliwość projektowania cienkowarstwowych powłok przeznaczonych do stosowania w transparentnej elektronice.pl
dc.identifier.citationJulia Dybała, Michał Mazur, Właściwości elektryczne i optyczne cienkich warstw WOx wytwarzanych metodą rozpylania magnetronowego i analiza ich współczynnika doskonałości, Biuletyn WAT LXXI(2) (2022) 15-25, DOI: 10.5604/01.3001.0016.2779
dc.identifier.doi10.5604/01.3001.0016.2779
dc.identifier.issn1234-5865
dc.identifier.urihttps://open.icm.edu.pl/handle/123456789/24800
dc.language.isopl
dc.publisherWojskowa Akademia Techniczna
dc.relation.ispartofseriesVol. LXXI
dc.rightsUznanie autorstwa 4.0 Międzynarodoween
dc.rights.urihttp://creativecommons.org/licenses/by/4.0/
dc.sourceBiuletyn Wojskowej Akademii Technicznej
dc.subjectrozpylanie magnetronowepl
dc.subjectcienkie warstwypl
dc.subjecttlenek wolframupl
dc.subjectwłaściwości optyczne i elektrycznepl
dc.titleWłaściwości elektryczne i optyczne cienkich warstw WOx wytwarzanych metodą rozpylania magnetronowego i analiza ich współczynnika doskonałościpl
dc.title.alternativeElectrical and optical properties of the WOX thin films, prepared by magnetron sputtering, and analysis of their highest valueen
dc.typearticle
dc.type.versionpublishedVersion
person.identifier.orcidMazur, Michał [0000-0002-6997-4204]
Files for this record
Original bundle
Now showing 1 - 1 of 1
Name: 7689_03_do korekty autorskiej.pdf
Size: 583.26 KB
Format: Adobe Portable Document Format
Description:
Download
License files
Name: license_rdf
Size: 1019 B
Format: RDF serialized in XML
Description:
Download
Belongs to collection
Artykuły / Articles